激光技术在电子行业中的应用
责任编辑:杭州东镭激光科技有限公司 发布时间:2011-4-13 15:11:47
激光加工技术属于非接触性加工方式,所以不产生机械挤压或机械应力,特别符合电子行业的加工要求。由于激光加工技术的高效率、无污染、高精度、热影响区小,因此在电子工业中得到广泛应用。
如在集成电路生产过程中采用的激光划片技术,可以达到提高硅片利用率高、成品率高和切割质量好的目的,还可用于单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池的划片以及硅、锗、砷化稼和其他半导体衬底材料的划片与切割。
又如在对指定电阻进行自动粳米微调中采用的激光微调技术,精度高、加工时对邻近的元件热影响极小、不产生污染、又易于用计算机控制,可以满足快速微调电阻使之达到精确的预定值的目的,同样可以用激光技术进行片状电容的电容量修正及混合集成电路的微调。
优越的定位精度,使激光微调系统在小型化精密线形组合信号器件方面提高了产量和电路功能。又如激光打标技术也已大量用在给电子元器件、集成电路打商标型号、给印刷电路板打编号等。而激光电镀作为新兴的高能束流电镀技术,对微电子器件和大规模集成电路的生产和修补具有重大意义。目前,虽然激光电镀原理、激光消融、等离子激光沉积和激光喷射等方面还在研究之中,但其技术已在使用。