CO2激光器以高功率、高效率、高光束质量和长波长为特点。加工用商用激光器均采用电激励，其最大连续输出功率达25kw。欧洲尤里卡汁划研制100kw的CO2激光器。从国际范围看，研制更大功率CO2激光器的工作主要不是受技术困难、而是受市场需求的制约，这项研究的发展重点已出提高功率转向提高光束质量和使用性能。

    CO2激光器的量子效率高达40％，工业器件总效率为10％左右，比其他加工用激光器的效率高得多。CO2激光器以CO2、N2、He等混合气体力工作物质，其均匀性比固体工作物质好，故CO2激光的模式较好而且较稳定。这些都是CO2激光器用于加工的主要优点。

    CO2激光器输出10.6um波长红外光，比其他加工用激光的波长耍长得多。对于如此波长的红外光，非金届材料——般能很好地吸收，但金届材料则强烈反射，这是CO2激光用于金属材料加工的一个主要问题。

    CO2激光器的技术关键在于气体流动换热、工作气树；激励、谐振腔印输出面口等。