1、聚焦镜内的聚焦镜片下表面也可能会被工件挥发物污染。当其被污染后，同样也会大大影响激光的输出。加工时一定要注意排烟和吹气保护，尽量避免聚焦镜被污染，若污染严重可采取如下方法小心清洁：

　　（1）用镊子小心夹住脱脂棉球蘸取无水乙醇或专用镜片清洁剂轻轻擦拭，要从内到外朝一个方向轻轻擦拭，每擦一次，需更换脱脂棉球，直到污物去掉后为止。

　　（2）用吹气球吹去聚焦镜表面的浮尘；

　　（3）卸下吹气管和压圈及保护套筒，小心取下聚焦镜　　

       注意：不允许来回擦，更不可被利物划伤，由于透镜表面镀有增透膜，膜层损伤将会极大影响激光能量输出。

　　2、反射镜用久之后会被加工所产生的烟尘污染，降低反射率，影响激光的输出，必须保持清洁，定期检查。可采用无水乙醇或专用镜片清洁液，用脱脂棉小心擦净即可。注意尽量避用利物划伤反射镜表面。