全固态千赫兹皮秒再生放大激光系统由于其效率高、单脉冲能量大、以及可靠性高等显著优点，成为微加工行业理想的加工工具，并在人造卫星激光测距、非线性频率变换、国防建设、科学研究等众多领域得到越来越广泛的应用。

　　中科院半导体所全固态光源实验室通过高功率皮秒种子激光器的研制，实现高效、高功率、高光束质量的皮秒种子激光输出；通过高功率、高脉冲能量皮秒激光再生放大器的研制，实现了皮秒激光再生放大系统的整机一体化。我们采用脉冲泵浦的方式，在Nd:YAG激光再生放大器中获得了平均功率大于1W，重复频率为1kHz，单脉冲能量大于1mJ，波长为1064nm的高能量皮秒脉冲输出。研制成功的皮秒激光再生放大器已经初步应用于黑硅材料加工实验。